激光光源发出一束准直性较高的激光光束,经过汇聚透镜聚焦后,照射到物体表
面,此时会形成一个反射光束,此反射光束又通过成像透镜,反射到PSD光敏元件表
面,在PSD的表面生产一个理论像点。
由于光点的照射位置的高低有别,同时物体外形不断变化,所以成像在PSD上的
位置也会因照射点位置变化而变化,两者的变化在同一平面内成一定函数关系。
考虑到光斑的直径较大,为便于位置的提取和数据的计算,一般成像点选取光点
的中心坐标,根据PSD上采集到的成像位移值,采用几何光学分析方法,就可计算出
照射点实时的高度坐标,即被测物表面此时的高度参数。若是连续测量,则可得到被
测表面的外形数据。检测系统的基本原理如图2.14所示。
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