看了你的线路图，想法不错，采用几级反相器产生的延时，来做死区控制吧，错误在于，你直接拿反相器做驱动，在这么高频率下面，驱动很大的栅极容性负载，你这是要把反相器当成MOS驱动芯片吗？
经过这么长的一条引线，到栅极电容，在2-5MHz范围，那铁定是一个非常不错的LC回路，不给你谐振出这样的振铃才是怪事。
解决办法：没看你被驱动的MOS管是什么型号，栅极负载怎么样不清楚，有一个简单的解决办法是，专门再找一片甚至2片6反相器，输入输出直接并联，利用并联反相器的电流驱动能力加强的办法，再去驱动MOS管。而且，该反相器，必须非常接近mos管，这个在这么高频率下面是必选项，没有变通办法。然后前面的线路，就可以以接近电压驱动的方法，来驱动当作专门接口的6反相器。
另外，作为一个PWM信号，其群延时是不会带来噪音，但是任何幅度变化都会带来实际附加噪音，因此，做好输出级电源供应的稳压是必须要考虑的一个问题。
顺便说一下，基于音频设备的高度敏感性，和现实器件性能限制，这么高频率的D类输出，也许并不是一个很好的选择。
就像你示波器图上面的，没有振铃的PWM信号，其上下沿，已经占了好大比例的总周期时间，而上下沿任何变化，直接的后果还是失真或者噪音。按照比例而言，你这个波形的PWM速度，在不同PWM条件下，由于电源、退偶等因素，其上下沿其实是会抖动的，足够给你带来各种麻烦。
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