求助各路大神！ASM固晶机：AD892-06操作问题

发表于 2018-5-23 10:27

各位大神，请教一个问题：
ASM固晶机 AD892-06。在SETUP—>WAFER PROCESS—>theta calibration。具体这个操作怎么使用的，有人知道吗？

点进去之后，选择AUTO校准，但是MARK点不知道怎么选，所以点进去就会撞到极限动不了。

发表于 2018-5-23 10:30

UPUPUP

发表于 2018-5-23 11:32

UPUPUP

登录 · 发表于 2018-5-23 12:44

发表于 2018-5-23 13:53

tyw 发表于 2018-5-23 12:44

感谢版主！但是还是没有找到我想要的信息，先感谢你！

发表于 2018-5-23 15:08

185694109 发表于 2018-5-23 13:53
感谢版主！但是还是没有找到我想要的信息，先感谢你！

固晶机AD892.pdf 100页操作手册有很详细的说明,细细啃.

发表于 2021-11-19 16:10

感谢资料，顶一个