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真空气相焊是一种利用饱和蒸汽的冷凝潜热进行加热，并在真空环境下完成焊接的先进工艺。它结合了气相焊加热均匀和真空环境利于排气的双重优势，特别适用于对空洞率要求极低、结构复杂或存在“阴影效应”的高可靠性电子组装场景。 其工作流程主要分为三个阶段：首先，设备将工件浸入特定氟化液体的饱和蒸汽区，蒸汽在工件所有表面迅速冷凝，释放大量热量，使整体均匀、快速地升温至焊接温度；随后，系统迅速将焊接腔体抽为真空，熔融焊料内部及被焊界面处的气体在压差作用下被强制排出；最后，在真空或保护气氛下完成冷却。某航天用微波多芯片组件采用此工艺后，X射线检测显示其大面积接地焊层的空洞率从传统回流焊的15%以上降至1%以下，热导性能得到极大改善。 此工艺的另一显著特点是能完美焊接具有巨大热容差异的异材构件。因为气相加热是针对所有暴露表面的，可以有效避免传统再流焊中因局部过热或加热不足导致的问题。宁波中电集创为某功率模块厂家提供的真空气相焊解决方案，成功解决了陶瓷衬底与金属热沉之间的大面积、无缺陷焊接难题，提升了模块的功率循环寿命。
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