通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:
1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件?
2、探针台机械精度要求多高?
3、点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,还是ic内部的metal?
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜(体式显微镜最大倍率200倍)
5、最多需要几根探针同时去点测?
6、会测试到的最大的电流、电压值是多少(电压越高探针的针尖就要越粗、对具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴具、5A以上推荐使用三轴具)
7、漏电精度需要达到多高?是否有射频的需求?三轴管状具:100FA,同轴弹簧具:10PA(漏电精度:最小能测到的电流的量级)
8、是否会用到探针卡?
9、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
10、显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
11、接驳的测试仪器接口有哪些?
12、测试环境时是否会需要加热或者降温?
13、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
14、是否需要防震桌?
15、若添置防震桌,是否有压缩空气?
森东宝手动探针台选型方式以及估价标准
探针台估价标准(价格升序排列):
按照测试环境排序:CS-4常温探针台、CS-4高温探针台、CG0-4高低温真空探针台、磁场环境探针台(价格从3万-几十万不等)
按照样品尺寸排序:CS-4 4英寸探针台、CL-6 6英寸探针台 、CH-8 8英寸探针台、CH-12 12英寸探针台
按照放大倍率排序: CS-4 体式显微镜探针台、 CL-4 金相显微镜探针台
总而言之,探针台属于非标产品,具体配置均可根据客户要求定制。如需更多详细参数,欢迎各位新老客户前来咨询。
深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)为森东宝国际有限公司(Cidabo International Limited)在大陆的全资公司,专业从事探针台设备的研发、生产、销售和服务的**技术企业。主营产品有:cindbest 品牌手动探针台(包含晶圆测试探针台、射频探针台、双面探针台、气敏探针台、真空高低温探针台等)、自动探针台、探针台配件、激光测试仪、美国GGB探针(包含射频探针、微波探针、高频探针、直流探针等)、蜂窝式光学平台、金相显微镜、I-V/C-V参数测试仪等。其中cindbest品牌探针台获得国家专利授权。
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