控制电路主要包括主控制器、通信模块、质量流量控制器（MFC）控制模块，气路
电磁阀控制模块及温控炉控制模块。通信模块通过RS485接口与T507核心板、MFC、
温控炉进行通信；MFC控制模块控制四路MFC，其中三路MFC串联相连通过同一RS485
接口进行控制，另一路MFC由另一RS485接口单独控制。另外根据用户要求预留了一
路RS485接口用来扩展通信接口；气路电磁阀控制模块控制气路电磁阀的关断与开启；
温控炉控制模块进行温控炉的温度控制及炉内温度的实时读取与显示，温控炉因其内部
神经网络控制、专家PID、人工智能PID、自动寻优PID的先进控制技术与自动整定技
术，它能够迅速调整机箱的温度，使温度值快速准确趋于设定值，温控炉只需要RS485
数字通信控制温度，通过其内部的结构就可以做到温度控制。
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