激光干涉位移传感器简介
CCD激光位移传感器的优点在于:激光干涉仪利用干涉现象,以波长作为位移测量的单位基准。
而CCD激光位移传感器不利用干涉现象是以“激光腔镜移动半波长、激光频率移动一个纵横间隔”为工作原理的,激光器自身变成了位移传感器,不利用干涉现象,但以波长做尺子,比激光干涉仪简单得多,造价低得多。
与电传感器相比,CCD激光位移传感器的优点在于:它是非接触式的检测,可以完全消除零件的径向跳动对测量结果的影响。而且通过对各个传感器标定,并采用最小二乘法线性拟合标定数据,进一步提高系统的测量精度。从而克服了传统圆度仪的测头接触式测量带来的弊端。 线性度好,因为“激光腔镜移动半波长,频率移动一个纵模间隔”的规律在任何激光腔长下都成立,在任何测量范围内都成立,它没有原理上的非线性。 有较高的分辨率和精度。对于633nm波长He-Ne激光,八分之一波长是0.079mm!
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