【资料分享】+新型硅麦克风的设计与分析

麦克风是人们的生活中十分普遍，又相当重要的电子器件。它接

受声音信号，通过电缆或光纤传送到世界各地，是人们远距离交流的必要器件。

所以人们很早就开始了对麦克风的研究。

    硅麦克风是指在硅片上，利用微系统工艺（MST ）制造，工艺尺寸一般在微

米、毫米之间，能够把声信号转化成电信号完成传感器功能。目前市面上最流行

的就是驻极体麦克风，它的面积已经达到比较小的水平，一般直径在 3-5mm。但

是硅麦克风可以做到更小，可以做到直径在 1 毫米或者 1 毫米以下。

硅麦克风是在硅片上利用微系统工艺制造