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位置敏感器件PSD (Position Sensitive Device)。PSD 属于半导体器件, 一般做成P+IN结构,具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点, 其弱点主要是非线性。其工作原理是基于横向光电效应。作为新型器件, PSD 已经被广泛应用在位置坐标的精确测量上, 如: 兵器制导和跟踪、工业自动控制、或位置变化等技术领域上. PSD光电器件 是一种光能/位置转换器件，由于位置量为模拟量输出，系统响应快，分辨率高，成本 低，因此具有广泛应用的价值。同时可对目标信号进行调制，因而可以显著提高系统的 抗干扰能力，可以用来实现高速、高精度、抗干扰能力强的位置检测系统。因而近年来 采用PSD作为位置检测实现技术一直受到重视，并不断研究开发出新的应用技术。研 究表明，PSD与CCD器件的最大不同之处是光电位置信号与照射强度相关，以及PSD 信号的非线性影响，因而PSD传感装置主要用于一维和二维位置量检测，直接用于D3 定位和位置测量还有许多问题需要解决。 |
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