求电容式传感器测微小位移参考实例(电路)。。。

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 楼主| 单车骑士 发表于 2011-10-11 10:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
电容大概在30p-100p之间,测量距离大概在1mm-5mm,要求精度为0.01um,分辨率为0.1um,

包括   正弦激励(100khz左右)-电容检测(运算放大)-精密全波整流-滤波,


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