早期的姿态传感器是以传统的惯性器件作为测量元件,导致姿态传感器具有价格高、重量大、结构复杂、稳定性差等缺点。随着微电子机械技术的全面发展,基于微电子机械技术生产研制的LV}MS陀螺仪、MEMS磁阻传感器和MEMS加速度传感器与传统的惯性测量元件相比,具有价格低、结构简单、重量轻、功耗低、稳定性高、节省系统资源、测量范围大、易于集成化等优点。基于MEMS器件构建小型化、低功耗和低成本的姿态传感器已经成为一个发展趋势,广泛应用于大型医疗设备、工业自动化、仪器仪表、智能机器人、汽车导航、工程机械、消费电子等领域[[3]。但是由于MEMS器件工作原理和制造工艺的不完善,造成MEMS器件具有一定的固有误差和漂移,因此MEMS器件必须组合使用以提高姿态传感器系统的精确性、稳定性和可靠性。
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