21ic电子技术开发论坛 › 综合技术交流 › 电子技术交流论坛 › mems电容传感器电路
返回列表 发新帖我要提问

[技术讨论] mems电容传感器电路

[复制链接]
482|0
 楼主| wqy176 发表于 2023-6-29 12:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
MEMS, 传感, 传感器, 传感器电, 传感器电路
图中中的可变电容是MEMS电容传感器，用来测压力的。加直流的目的是为了在电容传感器中产生静电力，对抗压力，从而扩大测量范围。交流是为了检测电容值的。我做了好几组实验，一通上直流电，测得结果跟理论完全对不上。用万用表测传感器，都显示有直流电压。但是产生的静电力对抗压力的结果就一直不正确。

本帖子中包含更多资源

您需要 登录 才可以下载或查看，没有账号？注册

×
回复

收藏 举报

相关帖子
返回列表 发新帖
高级模式
B Color Image Link Quote Code Smilies
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

wqy176

3

主题

10

帖子

0

粉丝
快速回复 在线客服 返回列表 返回顶部