量子芯片是下一代计算技术的核心，但因其电路结构复杂、尺寸微小，对制造设备的精度要求远超传统芯片——需 0.1-1nm 的定位精度与无掩膜直写能力，而这正是进口设备长期垄断的领域。浙江大学 “羲之” 光刻机以 0.6nm 精度与无掩膜直写技术，为量子芯片量产提供了国产解决方案。
量子芯片的研发需频繁修改电路设计，传统有掩膜光刻机需重新制作掩膜版，成本高且周期长（单块掩膜版成本超10万元，制作周期2周）。而 “羲之” 的无掩膜直写技术，可直接在晶圆上绘制电路，设计修改后仅需调整参数即可重新加工，将研发周期缩短至 24 小时内，大幅降低量子芯片的研发成本。
同时，“羲之” 的高精度制造能力保障了量子芯片的性能稳定性。量子芯片的量子比特易受外界干扰，电路尺寸的微小偏差就可能导致量子态失稳，0.6nm 的定位精度让电路尺寸误差控制在极小范围，提升了量子芯片的良品率 —— 从实验室阶段的 30% 提升至量产级的 60%以上。
随着量子芯片逐步走向产业化，线路板产业也需适配其特殊需求。量子芯片的信号传输需极低的损耗，线路板需采用超低介损基材、优化布线结构以减少信号衰减，同时量子计算设备的小型化要求线路板具备高密度集成能力，柔性线路板、HDI 线路板的应用比例将增加，为线路板企业开辟新赛道。 |
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