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关于探针台测试三级管类晶圆Z轴抬升异常

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楼主
有没有做晶圆测试的朋友,帮忙看看有没有遇到过类似的问题。我们用的探针台是PT301改装的带MAP机台,在测试三极管、二极管类晶圆时,总是有同一晶粒,Z轴抬升两次,然后测试出来,探针台和测试机的数据就不一样。但是测试其他像闪灯类的产品就没有这种情况,我把CPU控制板,通信板、XYZ驱动板这些都换过,没有效果。最后还是整个工作台和其他机台对换了以后才解决,但是还有台机也是这样现象。目前真正找原因,所以没有更换工作台,不知道有没有同行遇到过这种怪现象?

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沙发
chunyang| | 2017-7-13 12:02 | 只看该作者
检查定位精度。

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板凳
tyw| | 2017-7-13 12:36 | 只看该作者
检查Z轴抬升定位信号是否正常.

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