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中级技术员
yaoyuanytu 发表于 2015-11-26 22:34 感觉模拟传感器肯定不能满足要求,受温度等影响。光学原理传感器可能可以解决。 ...
使用特权
ocon 发表于 2015-11-27 00:37 用射电显微镜很多初学者一上来就要求:国际顶尖的精度+华强北的成本控制+本科毕设的难度 ...
maychang 发表于 2015-11-26 18:12 估计你还没有弄清楚0.1um是个什么概念。 假定玻璃片上有两条平行的线,彼此之间的距离是0.1um,再好的光 ...
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中级工程师
crazyren 发表于 2015-11-27 08:05 我们使用的基恩士的激光测距量程、精度跟这差不多,但那价格~~~ 国产的没听说有这精度的 ...
受不了了 发表于 2015-11-26 22:25 电涡流位移传感器,不过我没用过
taoest 发表于 2015-11-26 21:34 100纳米啊,很多IC都没这么细的线宽。
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资深工程师
ayl439 发表于 2015-11-26 17:26 量程10mm!精度0.1um!!非常非常难,张大侠说的迈克尔逊干涉仪好像在高中还是大学做过实验,不过毕业后从 ...
zjp8683463 发表于 2015-11-27 09:14 机械杠杆的误差远远大于1um。机械间隙无法避免。 海德汉的一部分高精度光栅位移计可以达到0.1um。体积也不 ...
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助理工程师
逛逛看看学学 发表于 2015-11-27 08:30 现在我们这边解决方案是:精度为1um的,通过杠杆原理放大10倍,所以理论上能够达到0.1um,但是这种还是有误 ...
逛逛看看学学 发表于 2015-11-27 09:19 我的描述有误:准确的说应该是最小示值为0.1um
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xuplastic 发表于 2015-11-27 10:12 一个热胀冷缩全毁了
ayl439 发表于 2015-11-27 10:14 如果分辨率是0.1um,精度um级,国产的好多光栅尺可以实现,其它方式的也有不少,比如你搜索“深圳信为” ...
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高级技术员
受不了了 发表于 2015-11-29 12:04 看手册里一款LK-G10的性能甚至超过楼主的要求
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