一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试

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Sode
发布时间: 2018-3-6 10:33

正文摘要:

一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试 引言　　高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。可靠性研究是微电子机械系统 MEMS产业化的关键，对于微加速度传感器更是如此。由于应用环境的 ...

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