莫尔干涉测量}}z,}s]是一种直接的光学技术，可以进行无损非破坏性计量测量。
这种测量方法被用于三维物体轮廓测量。莫尔原理的核心是使用两对精确匹配的
光栅对:光栅在空间上放大投射光线，然后相机光栅解调观察到的图像并产生相
位与距离成正比的干涉条纹。通常莫尔地形}m>ao}可以分为两大类:标准莫尔和阴
影莫尔，这取决于所使用的光学布局。对于标准投影莫尔系统，通常使用精确匹
配的一对光栅。投影光栅放置在光源的前方，而参考光栅或相机光栅放置在相机
的前方。准直光通过光栅投射，并通过光栅的间距进行幅度调制。当光落在物体
表面上时，空间载体的相位被物体表面的形状调制。当使用相移投影莫尔(阴影
莫尔)时，相机光栅相对投影光栅进行相移。这种技术可以应用于精细测量物体
的精确测量。在阴影莫尔技术的情况下，光栅靠近物体放置，光栅线的阴影投射
到物体上，如图1-1所示。光栅线和阴影线会产生干涉，产生代表相同高度表面
轮廓的条纹，并描述表面的形状[}zi,z2}。这种测量方法可以测量的最近距离可以达
到0.001个激光波长。但该测量方法的缺点是模糊度范围约为1微米。由于传
感器精度的差异，很难将干涉仪测量与其他传感器测量相关联。Dehne}}}描述了
一种测量具有纳米精度的不同航天器之间的距离的系统。Dubovitsky}24]和Liebe}25}
报道了一种系统，其中激光束在 40GHz进行相位调制以区分干涉仪距离和毫米
级距离。Swinkels}26】还报道了一个用于航天的计量系统。
一般来说，莫尔技术主要用于非常精确地测量小的平面外位移，例如由于应
力引起的表面变形。虽然非常准确，但这些技术的测量深度范围非常有限。
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