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半导体FIBL是什么意思

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醉心369|  楼主 | 2013-3-15 14:28 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
半导体
是否是把里面的导线割断或连接某些导线的一种技术呢？

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沙发
dirtwillfly| | 2013-3-15 15:18 | 只看该作者
FIBL,focused ion beam lithography 聚焦离子束光刻?

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板凳
醉心369|  楼主 | 2013-3-15 16:19 | 只看该作者
dirtwillfly 发表于 2013-3-15 15:18
FIBL,focused ion beam lithography 聚焦离子束光刻?

是做什么用的

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地板
dirtwillfly| | 2013-3-15 16:39 | 只看该作者
醉心369 发表于 2013-3-15 16:19
是做什么用的

离子束光刻采用液态原子或所态原子电离后形成的离子通过电磁场加速及电磁透镜的聚焦或准直后对光刻胶进行曝光。其原理与电子束光刻类似，但德布罗意波长更短（小于0.0001纳米），且有无邻近效应小、曝光场大等优点。离子束光刻主要包括聚焦离子束光刻（FIBL）、离子投影光刻（IPL）等。其中FIBL发展最早，最近实验研究中已获得10纳米的分辨率。该技术由于效率低，很难在生产中作为曝光工具得到应用，目前主要用作VLSI中的掩模修补工具和特殊器件的修整。

不知道是不是你说的那个FIBL

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5楼
醉心369|  楼主 | 2013-3-15 18:11 | 只看该作者
dirtwillfly 发表于 2013-3-15 16:39
离子束光刻采用液态原子或所态原子电离后形成的离子通过电磁场加速及电磁透镜的聚焦或准直后对光刻胶进行 ...

还有一个FIB的术语，是什么

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6楼
dirtwillfly| | 2013-3-15 19:38 | 只看该作者
醉心369 发表于 2013-3-15 18:11
还有一个FIB的术语，是什么

FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)

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7楼
醉心369|  楼主 | 2013-3-16 21:45 | 只看该作者
dirtwillfly 发表于 2013-3-15 19:38
FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)

他们有什么用途啊

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8楼
dirtwillfly| | 2013-3-16 21:47 | 只看该作者
4楼有，目前主要用作VLSI中的掩模修补工具和特殊器件的修整。

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