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求电容式传感器测微小位移参考实例（电路）。。。

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 楼主| 单车骑士 发表于 2011-10-11 10:49 | 显示全部楼层 |阅读模式
位移, 电容式传感器, 电路, kHz, 电容检测
电容大概在30p-100p之间，测量距离大概在1mm-5mm，要求精度为0.01um，分辨率为0.1um，

包括   正弦激励（100khz左右）-电容检测（运算放大）-精密全波整流-滤波，


拜谢
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 楼主| 单车骑士 发表于 2011-12-5 20:07 | 显示全部楼层
:(
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rockzone 发表于 2011-12-5 21:17 | 显示全部楼层
查容栅传感器，不过这个不好做，还是买现成的吧
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lymex 发表于 2011-12-5 22:20 | 显示全部楼层
>>要求精度为0.01um，分辨率为0.1um
分辨0.1um好办，精度1um也难。
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